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    • 產(chǎn)品中心PRODUCTS CENTER

      在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽(yù)和科學(xué)的管理促進(jìn)企業(yè)迅速發(fā)展

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      全自動臺階儀

      【產(chǎn)品概述】澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表,憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能,在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號,結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實(shí)現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng),通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對軟

      • 產(chǎn)品型號:JS2000B
      • 更新時間:2025-05-08
      • 訪  問  量:2866
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

      產(chǎn)品詳情

      澤攸科技臺階儀JS2000B

      產(chǎn)品介紹


      全自動臺階儀

      澤攸科技全自動臺階儀JS2000B是一款高精度、高分辨率的測量設(shè)備,采用一體花崗巖結(jié)構(gòu),確保測量的穩(wěn)定性與可靠性。配備雙彩色攝像頭,可清晰無畸變地觀察樣品和針尖,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位與實(shí)時監(jiān)控。適用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翹曲度、應(yīng)力及3D掃描成像等測量任務(wù),并支持計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描批量測試,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其核心技術(shù)包括精密成像、自動控制和數(shù)據(jù)分析處理。


      • 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

      • 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

      • 各式薄膜等應(yīng)力測量

      • 3D掃描成像

      • 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

      • 批量測試晶圓,批量處理數(shù)據(jù)等




      應(yīng)用領(lǐng)域

      全自動臺階儀

      產(chǎn)品組成

      全自動臺階儀


      突破三大核心技術(shù)

      全自動臺階儀


      產(chǎn)品特色

      全自動臺階儀


      技術(shù)指標(biāo)

      臺階高度最大范圍:≤80um

      臺階高度重復(fù)性:≤0.5nm

      垂直分辨率:0.05nm

      探針加力范圍:0.5mg~50mg

      單次掃描長度:≤55mm

      晶圓尺寸:可兼容6寸、8寸Wafer

      晶圓厚度:≤10mm

      圖像識別系統(tǒng)精度:定位精度優(yōu)于±10um

      機(jī)械動作穩(wěn)定性:馬拉松傳送測試>500片

      生產(chǎn)效率:WPH≥10片(單面量測≥5個位置)



      案例應(yīng)用

      18nm樣品

      68um樣品



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